今（21）天上午，在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū)，由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的12英寸先進生產(chǎn)線建設項目（以下簡稱“華虹六廠”）實現(xiàn)首臺工藝設備——光刻機搬入, 標志著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。
此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進的浸沒式光刻機。
華力12英寸先進生產(chǎn)線建設項目是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項目，總投資387億元人民幣，將建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，工藝覆蓋28-14納米技術節(jié)點。項目計劃于2022年底達到產(chǎn)能目標。
項目主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點服務國內設計企業(yè)先進芯片的制造，并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。
項目已被列入國家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》，是國家“910工程”的子項目之一，也是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項目和上海市重大工程。
華力12英寸先進生產(chǎn)線建設項目實現(xiàn)首臺工藝設備搬入，標志著將康橋工業(yè)園南區(qū)打造為上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展新基地、上海市落實《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》取得了階段性勝利，同時對上海建設先進制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群高地、打響“上海制造”品牌有著重要意義。
自2016年12月30日開工以來，經(jīng)過16個半月的努力，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，較原計劃進度提前1個半月。
未來五個月內，華虹六廠工藝設備將集中搬入，并完成安裝調試，年底前完成生產(chǎn)線串線并實現(xiàn)試流片。
來源：上觀新聞網(wǎng)
